【48812】ASML光刻机的作业原理及关键技术解析

来源:体育买球    发布时间:2024-07-31 10:54:12

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  的——首先是激光器发光,通过纠正、能量控制器、光束成型设备等之后进入光掩膜台,上面放的就规划公

  ,咱们称之为微影制程,原理是将高能雷射光穿过光罩(reticle),将光罩上的电路图形透过聚光镜(projectionlens),将印象缩小

  的开展状况 /

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  Moldex3D模流剖析之CUF Simulation Quick Start


的——首先是激光器发光,通过纠正、能量控制器、光束成型设备等之后进入光掩膜台,上面放的就规划公 ,咱们称之为微影制程,原理是将高能雷射光穿过光罩(reticle)